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2025-07-03 05:36:01
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该方法通过化学气相沉积生长的大面积石墨烯和MoS2薄膜，化碳环项在2英寸的晶片上制备侧壁晶体管。研究表明，排放它可以被视为迄今为止最小的栅极长度晶体管。
√0.34nm栅极长度的侧壁晶体管显示出良好的开关特性，中国开/关比高达1.02×105和亚阈值摆幅值低至117mVdec-1。此外，宝武它的本征N掺杂行为、更大的电子有效质量和更低的介电常数导致对短沟道效应的优异抵抗力。石墨烯作为一种半金属材料，旗下具有较高的本征电导率，可用作电极。
TMDCs对短沟道效应(shortchanneleffects,SCEs)表现出良好的抵抗力，富氢石墨烯具有高导电性和超薄厚度。MoS2作为二维（2D）过渡金属硫化物（TMDCs）的代表，碳循具有比Si（1.12eV）更大的带隙（单层为2.0eV）。
MoS2和石墨烯的边缘分别充当沟道和栅极，目即从而实现了栅极长度为0.34nm的侧壁晶体管的制造。
四、减少将投【数据概览】图一、减少将投0.34nm栅极长度的侧壁晶体管与其他典型结构晶体管的比较©2022SpringerNature图二、0.34nm栅极长度的侧壁单层MoS2晶体管结构和表征 ©2022SpringerNature图三、0.34nm栅极长度的侧壁晶体管的性能测试 ©2022SpringerNature图四、TCAD仿真结果 ©2022SpringerNature五、【成果启示】 综上所述，二维材料为将电子设备缩小到原子水平提供了宝贵的机会。而具体的传播进程，化碳环项则需按照消费者购买决策基本模型的阶段，分阶段进行全面却有重点的传播。
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